Prozesssicherheit mit Massenflussregelung beim Beschichtungsprozess
Coating-Center-Castrop | Massenflussregler
Hochgenaue Prozesssicherheiten fordern sensible technische Maßnahmen. Hier gelangen Massenflussregler zu ihrem Einsatz.
Ein Massenflussregler ermöglicht die automatsche Einstellung und Überwachung der strömenden Prozessgase. Die eingestellten Gasvolumenströme werden durch die Regelung konstant gehalten. Die Gasmassen sind abhängig von Druck und Temperatur.
Beim Einsatz von Massenflussreglern wird das Ausgangssignal ständig mit dem Sollwertsignal verglichen. Weichen Sollwert und Ist-Wert voneinander ab, wird der Prozess automatisch unterbrochen. Durch den Einsatz von Massenflussreglern lassen sich daher fehlerfreie Beschichtungen reproduzierbar herstellen, da die Konstanz der Volumen- und Massenströme zu jedem Zeitpunkt gewährleistet ist.
Die aufwendige Überprüfung der Prozesssicherheit durch tägliches Auswerten einer Beschichtungsprobe kann durch den Einsatz von Massenflussreglern entfallen. Dennoch überprüfen wir in festgelegten zeitlichen Abständen die Mikrostruktur der Schichten, um damit die 100%-ige Funktion der Massenflussregelung zu untermauern.